提供NIKON備件（包含易耗件）

1，常用的馬達(dá)

*ulhaber minimotor的173：1，30.7：1，41：1等

stage
motor（YASKAWA motor）

bellows
motor

chiba
precision motor

主要用于wafer
loader，wafer stage各部位控制馬達(dá)

2，常用的手臂

fetch
arm

load/unload arm

3，鹵素?zé)?

鹵素?zé)舭∟IKON和USHIO

4，LSA
HE-NE激光管，激光干涉計interferometer

5，NIKON其它各類備件，如電路板等

6，NIKON電路板維修（以壞換好）等

深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司AE 霍廷格 賽恩電源鍍膜射頻匹配器維修

萊寶COOLVAC低溫泵的工作范圍10-3到≤10-11mbar（0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托）屬于氣體捕集泵。工作原理是將氣態(tài)物質(zhì)通過低溫冷凝和低溫捕集到泵內(nèi)冷表面。為了能夠獲得高真空或超高真空，冷表面（低溫板）必須冷卻到足夠低的溫度。根據(jù)所用冷卻系統(tǒng)的類型可以分為制冷機(jī)低溫泵、 貯槽式低溫泵和蒸發(fā)器低溫泵。

萊寶公司生產(chǎn)用制冷機(jī)冷卻低溫泵。

客戶得益

低溫泵的優(yōu)勢：

- 所有氣體都有高抽速

- 對水汽有的抽速

對于相同直徑的高真空法蘭，低溫泵可以達(dá)到所有高真空泵MAX的抽速。

低溫泵的優(yōu)勢2：

與氣體傳輸泵（例如渦輪分子泵）相比，低溫泵在真空側(cè)沒有任何機(jī)械活動

部件、潤滑油或脂潤滑部件。所以：- 10-3 至 ≤ 10-11 mbar (0.75 x 10-3 至

≤ 0.75 x 10-11 Torr).壓強(qiáng)范圍的無烴真空

- 對外部振動不敏感

其它優(yōu)點：

- 與其他高真空泵相比更加緊湊（抽速大于1500 l x s-1）

- 僅啟動和再生期間需要前級泵

- 利用計算機(jī)更容易對工藝和泵進(jìn)行控制

- 性價比更高，使用成本更低，尤其是需要大抽速的應(yīng)用

萊寶真空生產(chǎn)的低溫泵采用本廠生產(chǎn)的COOLPOWER雙級冷頭冷卻（Gifford/McMahon原理）。

有關(guān)COOLVAC系列低溫泵的設(shè)計，請見以下示意圖的內(nèi)容。

一級冷頭（9）冷卻熱輻射防護(hù)屏和低溫泵的障板（6）。

根據(jù)泵的型號和工作條件不同，達(dá)到45到80K的工作溫度，水蒸汽在這里冷凝。

熱輻射防護(hù)屏和障板為銅質(zhì)，它們能很好地傳遞熱量，從而優(yōu)化制冷容量。

另外，熱輻射防護(hù)屏經(jīng)過拋光，將反射損失降到盡可能小。二級冷頭（7）用于冷卻冷傘（8）。

根據(jù)工作條件，達(dá)到 10到 20 K的工作溫度。氮氣、氧氣和氬氣在這里低溫冷凝。冷傘采用高導(dǎo)熱銅材與二級冷頭緊密相連。氫氣、氖氣和氦氣被吸附到冷傘上面部分覆蓋活性炭上。

COOLVAC制冷機(jī)低溫泵

COOVAC系列的所有低溫泵都配有安全閥（UHV型帶有爆破膜），安全閥由工廠設(shè)置，過壓150mbar（113托）時打開。

為了保證在安全閥動作時，安全地排出可能影響健康的氣體，安全閥另配有一個 DN 40 KF 法蘭，上面可以連接一條排氣管線。

低溫泵的再生

低溫泵工作的一個重要方面是再生。由于低溫泵屬于氣體捕集泵，所以被抽氣體都蓄積在泵內(nèi)，飽和后必須泵排出。

具體操作方法是關(guān)閉壓縮機(jī)并加熱低溫區(qū)到室溫或略高的溫度，由前級真空泵將釋放的氣體排出。

非電控再生系統(tǒng)的低溫泵這種低溫泵通過向泵內(nèi)吹掃干燥、預(yù)熱的惰性氣體（例如氮氣）加熱低溫區(qū)到室溫。此情況下，由于低溫泵內(nèi)不可能有確定的和受控制的溫度，所以無法排除氫氣和氧氣同時存在的情況。只有通過干燥惰性氣體的稀釋作用來防止可燃混合氣的形成。

多臺低溫泵組合操作

由于萊寶真空的壓縮機(jī)COOLPAK 6000HD功能強(qiáng)大，可以同時驅(qū)動兩個以上冷頭或低溫泵。

客戶得益

- 極大的降低投資和操作成本

- 占地面積小

萊寶真空全自動加熱再生低溫泵

低溫泵通過電加熱器將一級和二級冷頭加溫到室溫。此類情況下，低溫泵內(nèi)可以達(dá)到確定和受控制的溫度分布。這個受控制的加溫過程保證了氣體被連續(xù)排出，也就是按以下順序氣體一個接一個

被釋放：

- 吸附在冷傘上的氣體（例如氫氣、  氦氣、氖氣）

- 冷凝在冷傘上的氣體（例如氮氣、  氧氣、氬氣）