流量范圍:0-30 SLPM 最小流量范圍:010SCCM
  
  韓國萊因泰可( LINE TECH )高精度氣體質量流量計/氣體質量流量控制器,廣泛應用于所有工業,氣體混合及分析 ,半導體工業,光纖,燃料電池,反應器系統,氣體的混合系統。產品設計堅固、耐用,且經濟。
優 勢:
l 測量質量流量
l 不需要溫度、壓力補償
l 緊湊的流量控制系統
l 高精度(±1%F.S)
l 耐高壓(90公斤)
l 量程范圍廣:10SLPM ~ 30SLPM 之間可選/
l 兩種輸入輸出信號:0~5Vdc or 4~20mA 可選
l 兩種供電方式:+15Vdc or +24Vdc 可選
l 電氣連接: 15 針(D型插頭)
l 快速響應時間兩種:< 1 秒 or <2秒 可選
l 高重復性(±0.25%F.S)
l 接頭方式多樣選擇:SWL: 1/4″、1/8″、3/8″
VCR : 1/4″
規 格:
|       型號  |           M3030V  |    
|       流量范圍(N2)  |           0~30 SLPM  |    
|       響應時間  |           <1 秒  |    
|       精確度  |           ±1%  |    
|       重復精度  |           ±0.25%  |    
|       輸入輸出信號  |           0~5Vdc  |    
|       供電  |           +15Vdc or +24Vdc,350mA  |    
|       工作壓力  |           90 Bar  |    
|       工作溫度  |           0~50℃  |    
|       漏率  |           1×10-9 atm.cc/sec  |    
|       控制范圍  |           2~99%  |    
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