量程10 SCCM-3000 SLPM，優于2 %的精度，控制范圍廣，優于100 ms響應時間，適用于高壓應用

21Q系列氣體質量流量控制器，同我們的標準控制器一樣，能對需要較高管線壓力（160-320 psia）的應用環境進行快速控制響應。這款高壓應用質量流量控制器可快速達到新的設定值，并保持該設定值，即使在壓力突然增加的情況下，亦如此。我們將根據您的應用參數為您定制閥門和PID調節功能，確保相關產品能夠快速實現穩定控制。

應用及案例

● 大學/研究所 ● 環境監測

● 真空行業及鍍膜 ● 工業爐窯

● 半 導 體 ● 汽車制造

● 光 伏 ● 燃料電池

● 計量校準 ● 過程工藝氣體測量

產品特色

● 多功能。監控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。

● 連接。利用以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產品輕松整合到您的數字工業網絡中。

● 耐用。21Q系列高壓氣體質量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。為保證對環境影響的耐受性，我們可以為您的質量流量控制器構建IP66等級防護。

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精度升級

量程為10 SCCM - 3000 SLPM，

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標升級：

質量流量普通精度 ± 0.6%讀數 或± 0.1%滿量程（取值）

測量和控制范圍 0.1 ~ 99%滿量程

重復性 ± 0.1%滿量程

質量流量零點漂移 ± 0.01%滿量程/ ℃溫差

± 0.01%滿量程/ Atm壓力差

質量流量量程漂移 ± 0.01%讀 數/ ℃溫差

± 0.1 %讀 數/ Atm壓力差

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性能指標

介質要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質種類 內置了98種氣體，請參考氣體兼容表

一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

量 程 從0 ~ 10 SCCM 到 0 ~ 3000 SLPM（）

測量和控制范圍 0.5% ~ 99%滿量程

顯示流量 高達128%滿量程（取決于氣體）

可控流量 102.4%滿量程

顯 示 屏 帶集成觸摸板的單色LCD或彩色TFT顯示器

顯示方式 同時顯示質量流量、體積流量、壓力和溫度

精 度 ± 2%滿量程 精度升級見上段

重 復 性 ± 2%滿量程

零點漂移&滿量程漂移 0.02% 滿量程/ ℃/ Atm

響應時間 優于100 ms

預熱時間 ＜1s

標定工況 25 ℃&1Atm（其它標況可調）

工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫選項至100℃）

溫度精度 ± 0.75℃

工作濕度 0 ~ 99%

工作壓力 320 psia

滿量程壓損 參考詳細壓損表

數據刷新頻率 數字信號40Hz@19200波特率；

模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率 10Hz

數字輸入/輸出信號 RS-232、RS-485、Modbus RTU、PROFIBUS、EtherNet/IP、DeviceNet、Modbus TCP/IP、EtherCAT

模擬輸入/輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

模擬信號精度 在基礎誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差

供電電壓 12 - 30 VDC （15 - 30 VDC用于4 - 20 mA輸出）

供電電流 0.250 A

電氣接口 DB9，可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN、8-pin M12

泄漏率（外漏） 選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材 質 303和302不銹鋼、Viton?、熱固化硅橡膠、玻璃增強聚苯硫醚、熱固化環氧樹脂、鋁、金、黃銅、430FR 不銹鋼、硅、玻璃。如果您申請需要其它材料，請聯系我們。

過程連接 詳情參考壓損表

安裝方式 對位置無要求

防護等級 IP40

認 證 ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）

*如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需來電垂詢

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選項配件

（需另行訂購）

● 過程端口接頭和過濾器

● 電源

● 通訊線纜和轉換線纜

● BB3和BB9多點式集線盒

● Flow Vision軟件

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包裝清單

● MCQ系列高壓氣體質量流量控制器（電源需另行訂購）

● NIST可溯源校準證書

● 艾里卡特操作說明書

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尺寸詳圖

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尺寸壓損

滿量程質量流量控制器	滿量程壓損（PSID） 排氣到大氣中	機械尺寸1	過程連接2
10 SCCM ~ 50 SCCM	1.0	4.4''H x 3.4''W x 1.1''D	M-5 （10-32）（內螺紋）
100 SCCM ~ 500 SCCM	1.0	4.6''H x 3.6''W x 1.1''D	1/8'' NPT 內螺紋
1 SLPM	1.5
2 SLPM	3.0
5 SLPM	2.0
10 SLPM	5.5
20 SLPM	20.0
50 SLPM	9.0	5.7''H x 7.7''W x 2.3''D	1/4'' NPT 內螺紋
100 SLPM	2.6
250 SLPM	4.6	6.0''H x 7.7''W x 2.3''D	1/2'' NPT 內螺紋
500 SLPM	6.5	6.0''H x 7.3''W x 2.3''D	3/4'' NPT 內螺紋 （A 1-1/4" NPT 內螺紋可選過程連接 可用于2000 slpm 流量計）
1000 SLPM	14.0
1500 SLPM	17.0
2000 SLPM	28.6	6.0''H x 8.1''W x 2.9''D
3000 SLPM	16.8	6.0''H x 8.9''W x 2.9''D	1-1/4'' NPT 內螺紋
注1、公制數據見圖紙； 2、與Swagelok?管、Parker?、表面密封、快接接頭和卡套轉接頭相兼容，也可根據要求連接VCR和SAE。 3、與M-5 （10-32）外丁腈橡膠O形圈表面密封至1/8''NPT內螺紋接頭一起裝箱。

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產品大圖

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