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概要高穩定性的質量流量計－氣體流量控制不受上流和下流端壓力變化的影響

概要SEC-Z700系列和CRITERIOND200系列即使在上流和下流壓力影響的情況下也可以提供穩定的流量控制

概要SEC-8000F/D系列,可以在高溫環境下工作,實現超潔凈狀況下百萬分之一級別的超小流量的分析與控制，能夠滿足復雜多變的半導體制程需求

概要作為提高生產的必要因素、制造設備的高性能化和小型化、低成本化等正日益受到關注